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Préparation d'échantillons EBSD en céramique de carbure de silicium

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Carbure de silicium Les céramiques (SiC) présentent une conductivité thermique exceptionnelle, une résistance aux hautes températures, une résistance à l'usure et à la corrosion, largement adoptées dans la fabrication de semi-conducteurs, les nouvelles énergies photovoltaïques, la protection thermique aérospatiale et la métallurgie à haute température. Leurs performances en service sont dominées par la morphologie des grains, les conditions limites des grains et les contraintes résiduelles.

L'EBSD constitue une méthode de caractérisation essentielle pour analyser l'orientation des grains, la texture et les micro-défauts du SiC. Des données EBSD fiables guident l’optimisation du frittage et évitent les pannes de composants. La préparation précise des échantillons détermine le succès de l’indexation EBSD pour les céramiques SiC dures et cassantes. Les papiers de verre standards ne parviennent pas à meuler ; des disques diamantés et un polissage vibratoire sont nécessaires.

Silicon carbide ceramic EBSD sample preparation micrograph 1

Figure 1 : Micrographie d'un échantillon de céramique en carbure de silicium (SiC) (échelle : 300 μm)

Silicon carbide ceramic EBSD sample preparation micrograph 2

Figure 2 : Micrographie d'un échantillon de céramique en carbure de silicium (SiC) (échelle : 300 μm)

Notre procédure de préparation SiC EBSD :

1️⃣ Meulage grossier avec disque diamanté P400 pour planarisation
2️⃣ Meulage fin : POS pad 9μm PD-WT suspension diamantée
3️⃣ Polissage grossier : tissu SC-JP suspension PD-WT 3μm
4️⃣ Polissage intermédiaire : suspension en tissu ZN-ZP AO-A439
5️⃣ Polissage vibratoire final : suspension en tissu ZN-ZP AO-A439
#cheval de Troie | #cheval de Troiemetallography

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